應用於不同製程的氣體質量流量控制器
我們為許多不同的製程提供氣體質量流量控制器。 閱讀以下客戶案例：
什麽是質量流量控制器？
氣體質量流量控制器是用於測量和控制氣體流量的儀器。 這些控制器針對特定操作條件（流量範圍、氣體類型、上游壓力、下游壓力和溫度）進行構建、測試和校準。
氣體質量流量控制器如何工作？
質量流量控制器通過將其滿量程範圍的 0 到 100% 之間的設定點值與測量值進行比較來控制特定流量。 之後，控制閥通過進一步打開或關閉閥門來調節流量（非常快），直到恰好達到設定值。 各種原理用於測量流量，例如：熱旁路、熱通流或科里奧利。
質量流量和體積流量有什麼區別？
科里奧利質量流量控制器測量實際質量流量，而熱質量流量控制器則取決於流體的物理特性。 真正的質量流量測量是整個行業的一項重要發展，因為它消除了由流體物理特性引起的不准確性，尤其是質量流量和體積流量之間的差異。 質量不受溫度和壓力變化的影響。 僅這一點就使它成為一種重要的流體流量測量方法。
熱質量流量控制器利用氣體的熱容量和熱導率來確定質量流量。 與可變面積 - VA 儀表或渦輪流量計等體積流量測量設備不同，熱質量流量控制器相對不受輸入流量的溫度和壓力波動的影響。
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