此蒸發過程中使用的軟體
在這個設置中，蒸發過程使用LabVIEW軟體進行簡單有效的視覺化。目前使用的CEM蒸發系統取代了傳統的bubbler系統，後者在載氣和前驅物的低流速控制方面存在限制。這個轉變帶來了幾項好處。
使用CEM蒸發系統的益處
通過
CEM系統，Empa達到了50 ml/min的高氣體產量，相比於bubbler系統只允許4-5 ml/min的氣體流量。此外，HMDSO液體的流量也得到了提高。Empa的目標是將這個過程從實驗室規模擴大到工業規模。
Empa目前使用的
CEM系統是便攜且小巧的。這個移動設置類似於帶有輪子的小型辦公桌，便於在實驗室之間移動。Bronkhorst設備的小巧性進一步增強了工程流量解決方案的靈活性。
HMDSO設置使得能夠在低溫下沉積聚矽氧烷塗層，適合於無法承受高溫的塗層纖維。Empa努力導入低壓電漿聚合，通過促進纖維表面的異相沉積並減少的化學品量，並提高產量。
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