壓力測量

Bronkhorst 的EL-PRESS壓力傳感器是一種矽晶片表面的壓電電阻電橋。該晶片的背面被鑽孔,從而與晶片內部形成了壓力隔膜,該隔膜的厚度將決定其壓力範圍。當壓力作用於這一芯片上時,該隔膜將變形,從而使得電橋的電阻值根據其壓力所佔的比例來改變。測量元件與外部壓力是通過一個超薄的敏感不銹鋼隔膜分開的,在隔膜以及元件中間的封閉腔中都被油所填充。

Bronkhorst EL-PRESS Pressure Sensor

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