報價諮詢

IQ+FLOW®氣體質量流量計/控制器

以芯片傳感器為基礎

簡介

各設備生產商們一直在尋找一種更精巧的氣體流量和壓力測量及控制的方案。在先前,傳統的質量流量和壓力計都需要至少1.5"空間,比如具體到在NeSSI 系統中。如今,Bronkhorst 通過與TNO-TPD(荷蘭領先的應用物理研究所)的緊密合作,開發出了一系列高科技的IQ+FLOW® 質量流量傳感器。由於採用了納米技術,使其能夠減少一半的體積,達到0.75", 從而滿足了市場上對超小型的流量和壓力控制器的需求。

特徵:

  • 流量處理範圍從0,2...10 mln/min 到0,1...5 ln/min (滿刻度值)
  • 超零點穩定性(由於使用了帶熱平衡式的芯片傳感器)
  • 空間利用率提供
  • 性價比高
  • 超速響應,可低至300 msec
  • 類比和數字(RS232 / RS485) 通訊

客戶指定設計

根據IQ+FLOW® 系列產品的微系統技術,Bronkhorst 成功開發出了精巧且多功能模組的超小流量測量產品。更多詳細資料請見IQ+FLOW 多功能解方案

分析應用實例

以0.75"超精巧型模組為基礎的分析應用實例:

  • 氣相色譜儀注入端的流量-壓力控制
  • 氣相色譜儀或高效液相色譜儀監測端的流量控制
  • 火焰離子探測儀的流量控制

產品型錄

更詳細資料,請點擊產品型錄 "IQ+FLOW 微型流量計/控制器"


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Miniature Mass Flow Controller Top mount MFC
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