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EL-FLOW® 金屬密封型氣體質量流量計/控制器

簡介

Bronkhorst 的金屬密封氣體質量流量測量儀表和控制器以其獨特的、專利全金屬密封結構為特徵。除此之外,該款流量計還以其高性能、高質量將其與市場上的其它產品區分開來,因此,該款儀器特別適合於半導體產業以及高純度氣體運用場合。質量流量測量儀表和控制器的表體使用的是1/4" VCR 連接。

最低流量範圍 0,12...6 mln/min
最高流量範圍 1... 50 ln/min

目前市場上的儀器都內置 數位電路板,從而使儀器具有高精度、超穩定的溫度以及快速的反應時間的特點(可設置的時間從t98 可以低至500 msec)。最新的EL-FLOW® 設計風格的產品具有多氣體/多範圍功能,從而為客戶(OEM)提供了可選的靈活性以及高效率工藝。為了方便客戶,Bronkhorst 還提供了免費的且方便運用的操作軟體

特點

  • 可進行重複密封的全金屬外部密封結構(無密封圈)
  • 電拋光過流部件
  • 無塵組裝
  • 多介質/多範圍可調節功能
  • 類比通訊和數字I/O, 可與如下任意集成接口連接:
  • DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus 或者FLOW-BUS
  • 無零點飄移(不需要零點自動調整電路)
  • 高精度、重複性高

可測流量範圍(以空氣為基準)

質量流量測量儀表 (MFM)

流量範圍

型號 F-111CM min. 0,12 ... 6 mln/min
max. 1 ... 50 ln/min

質量流量控制器 (MFC)

流量範圍

型號 F-201CM min. 0,12 ... 6 mln/min
max. 1 ... 50 ln/min

產品型錄

更多資料,請點擊產品型錄"全金屬密封數字質量流量/壓力計和控制器"


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F-201CM金屬密封質量流量控制器F-111CM metal sealed 氣體質量流量計
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